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北方华创Saqua 单片清洗机进驻中芯北方28纳米出产

文章来源:admin 更新时间:2016/12/12

  

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  乐虎国际,近日,北方华创002371)集团部属全资子公司北方华创微电子配备无限公司Saqua单片清洗机正式进驻中芯北方集成电制制()无限公司(简称“中芯北方”)28纳米出产线,标记着北方华创集成电清洗设备分析机能达到国际同类型产物先辈程度,是国产半导体设备正在集成电范畴取得了又一严沉冲破。

  集成电铜制程清洗工艺要求正在颗粒节制、金属污染节制、交叉污染节制等方面有极高的工艺尺度。北方华创自从研发的新一代Saqua单片清洗机,是继90纳米、65/55纳米产物后的又一次升级,同时,Saqua单片清洗机兼具通孔/沟槽刻蚀后清洗、衬垫去除后的清洗等多种工艺,支撑多使命并行处置,可最大程度提高产能。

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